[한남대학교 산학협력단]2026-11-01호 반자동연마기시스템 (MetPrep 3x™)구매

본 사업은 반도체 CMP 공정의 연마 및 표면처리를 위한 MetPrep 3x™ Grinder/Polisher를 구매하여 AI 기반 CMP 공정 최적화 연구에 필요한 실험환경을 구축하는 것이다. 장비의 자동화 및 데이터 활용 기능을 통해 신뢰성 있는 실험 데이터를 확보하고, 향후 AI 기반 연구와 연계할 수 있는 환경을 조성하고자 한다.

• 반자동연마기시스템 납품
• 장비 설치 및 초기 최적화
• AI 기반 연구환경 구축 지원
• 사용자 교육 및 매뉴얼 제공
• 기술지원 및 유지보수

착수

계약체결일

기간

8주

납품기한

계약 후 8주 이내

• 필수중소기업 확인서
• 필수전자입찰 참가자격 등록
• 필수납품 후 2년 품질 보증
• 우대유사 실적 보유