조달핏
물품R26BK01731476D-52026.10.02

Remote Plasma Source (RPS 발생기) 구매

(주)케이에스엠컴포넌트
추정가
3700만
배정 예산
4070만
개찰일
2026.10.02
나라장터에서 보기
첨부파일 3건

문서 요약

첨부된 제안요청서·공고문을 읽어 정리한 내용이에요. 입찰 전 원문 확인은 필수.

과업 내용

극한 환경 반도체 공정에서 내플라즈마성과 내식성이 향상된 서셉터 개발을 위한 Remote Plasma Source 구매 사업이다. 본 사업은 플라즈마 환경에서 불화가스에 대한 내식성을 테스트하기 위한 장비를 구축하고 설치하는 것을 목표로 한다.

  • 장비 구축 및 설치
  • 납품 및 시운전
  • 장비 사용 및 유지보수 교육
착수
계약 후 60일 이내
납품기한
계약 후 60일 이내
참가 자격
  • 필수국가종합전자조달시스템 입찰참가자격 등록
  • 필수부정당업체로 입찰참가 자격 제한 없음
  • 필수RPS 발생기 또는 동등한 물품 제조 또는 공급 가능
평가 규격 · 가격동시입찰 — 규격 미달 시 입찰참가자격 미달로 처리.

공고 라이프사이클

발주계획부터 계약체결까지 한 공고의 전 과정. 다른 입찰 사이트엔 없는 통합 정보예요.

  1. STEP 01
    발주 계획
    사전 공개
  2. STEP 02
    사전 규격
    사양서 공개
  3. STEP 03
    의견 수렴
    참여 업체 의견
  4. STEP 04
    입찰 공고
    본 공고 게시
    마감 2026.10.02
  5. STEP 05
    낙찰
    개찰 / 낙찰자 결정
  6. STEP 06
    계약 체결
    최종 계약