대면적 비소/인화물계 유기금속화학기상증착장비 1대 구매(재)

대면적 비소/인화물계 유기금속화학기상증착장비를 구매하는 사업으로, 고온의 반응로에서 화학반응을 통해 화합물반도체를 적층하여 에피택시를 성장시키는 장비입니다. 이 장비는 GaAs 및 InP 기판에 대한 고품질 에피택시 성장을 지원합니다.

• 대면적 화합물반도체 에피택시
• 6인치 GaAs 기판 적층
• 온도 제어 시스템
• 가스 공급 및 냉각 시스템
• 모니터링 및 부가장치 포함

착수

계약체결일

종료

12개월 이내

기간

12개월

납품기한

계약완료 후 12개월 이내

• 필수전자입찰 이용자 등록
• 필수유사 실적 보유
• 필수중소기업 확인서
• 필수국가계약법 준수