150mm PECVD 장비 개조_PA202601857

150mm PECVD 장비 개조 사업은 서울대학교 반도체공동연구소의 기존 TEOS 공급 방식을 Injection Type으로 변경하여 공정 안정성을 확보하는 것을 목표로 합니다. 이 과정에서 필요한 부품은 신품을 원칙으로 하며, 개조 후 P-TEOS 공정이 원활히 운영될 수 있도록 해야 합니다.

• 기존 TEOS 공급 방식 변경
• Gas Line 및 Temperature Controller 설치
• Injection Valve 및 Mini Controller 설치
• 장비 조립 및 Leak check
• 최종 검수 및 성능 평가

착수

계약체결일

종료

2027년 6월 30일 이내

납품기한

2027년 6월 30일 이내

• 필수직접생산확인증명서
• 필수최근 5년 이내 PECVD System 관련 납품실적 5건 이상
• 필수납품기한 내 물품 납품 가능
• 필수중소기업 확인서