웨이퍼 습식 공정 시스템의 자동반송시스템 구매

웨이퍼 습식 공정 시스템의 자동반송시스템을 구매하는 사업으로, 150mm 및 200mm 웨이퍼를 자동으로 이송하고 정렬하는 기능을 갖춘 시스템을 요구한다. 이 시스템은 다양한 챔버로 웨이퍼를 이동시키고, 자동 카세트 매핑 기능을 포함해야 한다.

• 웨이퍼 자동 이송 시스템
• 카세트 스테이지 장착
• 자동 카세트 매핑 기능
• 진공 흡착 방식 엔드 이펙터
• 프리얼라이너 기능

착수

계약일로부터

종료

2026. 12. 31.

기간

null

납품기한

2026년 12월 이내에 납품

• 필수조달청 전자입찰 참가자격 등록
• 필수공동수급 불허
• 필수전자입찰 이용자 등록 필수