산화막 식각 장비 구매

산화막 식각 장비 구매 사업으로, 플라즈마 기반의 건식 식각 장비를 통해 산화막 및 질화막을 선택적으로 식각하는 장비를 납품받는다. 장비는 8인치 웨이퍼를 처리할 수 있는 자동화 시스템을 요구하며, 안정성과 안전성을 갖춰야 한다.

• 산화막 식각 장비 납품
• 플라즈마 기반 건식 식각
• 8인치 웨이퍼 처리
• 자동화 공정 지원
• 안전성 및 안정성 확보

착수

계약일로부터 5개월 이내

기간

5개월

• 필수최근 5년 이내 반도체 기업에 납품 실적
• 필수장비 실사 참여 필수
• 필수조달청 전자입찰 참가자격 등록
• 필수공동수급 불허