한양대학교 ERICA 퍼니스 시스템 구매

반도체 전공정 핵심장비인 드라이 산화로(Dry Oxidation Furnace) 1대를 구매한다. 고온에서 실리콘 웨이퍼에 고품질 산화막을 형성하는 열처리 장비로, 반도체 소자 제작·교육·산학연계 연구 및 지역기업 기술지원에 활용된다.

• 드라이 산화로 시스템 공급 및 설치
• 공정 챔버·가스 공급·제어·프레임 모듈 포함
• 납품 후 장비 운영 교육 실시
• 1년 이상 무상 하자보수 및 긴급 A/S
• Factory Test Sheet 및 성능 검사 시행
• 부가매뉴얼(책자·PDF) 제공

착수

계약 체결 후

납품기한

2026년 12월 30일까지(검수·납품·설치·세금계산서 발행 완료)

• 필수사용부서 사양 적합 확인(서식 6 제출): 반도체 소자 제작 교육 및 산학연계 연구에 적합한 규격 확인
• 필수해당 사업에 관한 자격요건 보유(계약법령 시행령 제12조·시행규칙 제14조 규정)
• 필수국내 설치·교육·장애 대응 및 부품 공급 가능한 기술지원 체계 구축, 입찰 시 담당연락처 제출
• 필수모든 부품 신품 사용, Refurbished/Used/Warranty서비스용 부품 불가
• 필수납품 전 제조자의 클린룸에서 성능 검사 및 공정 시연 이수 후 검수 조건 만족 확인
• 필수정품 인증 서류 즉시 제출 가능
• 우대국내 제조 장비 요청(반도체 소부장 기술 자립화 취지 부합)