한양대학교EIRCA 마스크 얼라이너 시스템 구매

반도체 리소그래피 공정용 마스크 얼라이너 시스템을 구매합니다. PC 제어 기반의 반자동 노광 장비로 1㎛ 이하의 미세 패턴 전사가 가능하며, 최대 6인치 웨이퍼까지 처리할 수 있습니다.

• 마스크 얼라이너 본체 및 제어용 PC 납품
• UV 광원 및 노광 유닛 구성
• 장비 설치 및 현장 기술 교육
• 1년 이상 하자보수 및 유지보수 서비스
• 1㎛ 이하 패턴 구현 성능 입증

착수

계약체결일

종료

2026년 12월 30일까지

납품기한

2026년 12월 30일까지(검수, 납품, 설치, 세금계산서 발행 완료)

• 필수동등 또는 동급 이상의 1㎛ 이하 패턴 구현 결과 데이터 제출(입찰 종료 전)
• 필수국내 제조 장비(반도체 소부장 기술 자립화)
• 필수국내 설치·교육·장애 대응 및 부품 공급 가능한 기술 지원체계 보유
• 필수6인치, 4인치 웨이퍼 및 조각 샘플 모두 대응 가능한 구조
• 필수제조사 정품 부품 납품(Refurbished, Used 제외)