반도체 박막·공정 실험용 연구재료 5종 구입

반도체 박막·공정 실험 관련 세라믹 타겟 및 기판 5종 총 806개를 구입하는 물품 납품 사업. IZO/ZTO 타겟, 세라믹·AlN·쿼츠 쿠폰을 고밀도·고순도 규격으로 납품하고 1년 하자보증을 제공해야 함.

• IZO 타겟 3개(In₂O₃-ZnO계, 99.99% 순도, Ø125mm×6T)
• ZTO 타겟 3개(ZnO-SnO₂계, 99.95% 순도, Ø125mm×6T)
• 세라믹 쿠폰 150개(Al₂O₃계, 20×20×2T, Ra≤0.03μm)
• AlN 쿠폰 150개(AlN함량 95% 이상, 20×20×2T)
• 쿼츠 플레이트 500개(Fused Quartz, SiO₂ 99.9% 이상, 20×20×1T)

착수

계약체결일

납품기한

계약일로부터 3주 이내

• 필수규격검토확인서 및 규격비교표(발주부서 사전 확인)
• 필수부가세 포함 입찰금액의 5% 이상 이행(입찰)보증보험증권
• 필수사업자등록증, 법인등기부등본(법인), 인감증명서, 국세·지방세 납세증명서(입찰일 이후 유효)
• 필수청렴계약 이행서약서 제출