열 및 플라즈마 복합형 ALD System
한국공학대학교 산학협력단 · 물품 · 공고번호 R26BK01793804
이 공고는 한국공학대학교 산학협력단에서 2026.10.27에 게시한 나라장터 물품 입찰공고입니다. 추정가 4.5억 · 입찰 마감 2026.11.04 · 개찰 2026.11.05 · 계약 방법 제한경쟁. 최종 참가 조건은 공고 원문으로 확인해야 합니다.
과업 내용
첨부 문서를 읽어 정리했습니다 · 원문 확인은 필수원자층 단위로 박막을 형성하는 ALD(Atomic Layer Deposition) 장비로, 최대 510mm×515mm 기판을 처리할 수 있으며 Thermal ALD 및 Plasma-Enhanced ALD 공정을 모두 지원하는 고정밀 박막 증착 장비 공급.
- 열 및 플라즈마 기반 ALD 공정 장비 설계·제작
- 최대 510mm×515mm 대면적 기판 처리 시스템 구축
- Process chamber·Loadlock chamber·Remote plasma system 구성
- 장비 설치 및 시운전
- 기술 교육 및 운영 지원
- 1년 보증 및 A/S 제공
문서에서 뽑은 말 ALD(Atomic Layer Deposition) · Thermal ALD · Plasma-Enhanced ALD · 박막 증착 · Remote plasma system · Loadlock chamber · TGV(Through Glass Via) · Glass Interposer
문서가 요구하는 조건
조달핏이 자격으로 판정하지는 않습니다필수 6건
- 기업 규모중소기업확인서 보유 (전자입찰 마감일 전일까지 발급, 유효기간 내)
- 면허·업종국가종합전자조달시스템(나라장터) 세부품명번호 2399039801(진공증착기) 제조·공급물품으로 입찰참가자격 등록
- 실적2G 글라스 사이즈 이상의 클러스터 납품 실적
- 기타장비 제작·공급·설치 전부를 직접 수행 (공동수급·하도급 불허용)
- 인증제조사·공급사 확인서 (정품납품 증명)
- 인증A/S 기술확약서
단계
발주계획부터 계약까지 · 수집된 것만- 발주계획2026.10 예정
- 사전규격2026.10.21의견 마감 2026.10.26 · 의견 0건
- 입찰공고2026.10.27
- 입찰 마감2026.11.04
기관·구분
- 수요기관한국공학대학교 산학협력단
- 공고기관한국공학대학교 산학협력단
- 업무 구분물품