패드 프로파일 측정용 스테이지

한국생산기술연구원 · 물품 · 공고번호 R26BK01802544

이 공고는 한국생산기술연구원에서 2026.11.02에 게시한 나라장터 물품 입찰공고입니다. 추정가 2360만 · 입찰 마감 2026.11.09 · 개찰 2026.11.09 · 계약 방법 제한경쟁. 최종 참가 조건은 공고 원문으로 확인해야 합니다.

과업 내용

첨부 문서를 읽어 정리했습니다 · 원문 확인은 필수

CMP 패드 표면 프로파일 자동 측정 시스템을 위한 XY 스테이지 제작 및 설치. X축 자동 이송 스테이지, Y축 수동 조정 스테이지, 구동 제어부를 포함하며 현장 설치 및 시운전 완료 납품.

  • X축 자동 이송 스테이지 및 구동부 제작
  • Y축 수동 조정 스테이지 및 시편 고정부 제작
  • 모터 제어기, 전원, 제어 인터페이스 등 구동·제어계 구성
  • 현장 설치 및 시운전
  • 제작도면 승인 및 성능 검증
  • 사용자 교육 실시

문서에서 뽑은 말 XY 스테이지 · 자동 이송 · 볼스크루 · CMP 패드 · 위치 정밀도 · 현장 설치

문서가 요구하는 조건

조달핏이 자격으로 판정하지는 않습니다
필수 4건
  • 인증중소기업·소상공인 확인서(유효기간 내)
  • 면허·업종조정앵글플레이트(27111827) 물품분류번호 입찰참가자격 등록
  • 기타국가종합전자조달시스템(나라장터) 입찰참가자격 등록
  • 기타사용인감계, 법인인감증명서(최근 3개월 이내 발급), 법인등기부등본, 사업자등록증명 제출

단계

발주계획부터 계약까지 · 수집된 것만
  • 사전규격2026.10.16의견 마감 2026.10.21 · 의견 0건
  • 입찰공고2026.11.02
  • 입찰 마감2026.11.09

기관·구분

  • 수요기관한국생산기술연구원
  • 공고기관한국생산기술연구원
  • 업무 구분물품