금속막 원자층 증착 장비 (Metal Atomic Layer Deposition) 1대 구매 (내자)
재단법인 한국나노기술원 · 물품 · 공고번호 R26BK01808440
이 공고는 재단법인 한국나노기술원에서 2026.11.04에 게시한 나라장터 물품 입찰공고입니다. 추정가 4.6억 · 입찰 마감 2026.11.10 · 개찰 2026.11.10 · 계약 방법 제한경쟁. 최종 참가 조건은 공고 원문으로 확인해야 합니다.
과업 내용
첨부 문서를 읽어 정리했습니다 · 원문 확인은 필수금속막 원자층 증착 공정(PEALD)이 가능한 장비 1대를 구매하여 시스템반도체 초미세 소자 실증 테스트베드에 구축. 12인치 웨이퍼 호환, 원자층 수준의 정밀한 금속 박막 증착 및 금속질화물 형성을 통해 게이트, 전극, 배리어 라이너 등의 공정 지원.
- 12인치 웨이퍼 호환 PEALD 시스템(로드락+프로세스모듈 1ea)
- 700℃ 스테이지 히터, 13.56MHz RF 플라즈마 킷 포함
- 4개 소스 캐니스터(핫 타입), 수소/질소/암모니아/산소 가스 공급
- 진공펌프(2만L/min), 열식/습식 스크러버 포함
- 성능검수: 진공도, MFC응답, 히터제어, 모션, 플라즈마 테스트
- 공정성능검수(루테늄 박막): GPC 1~3Å/cycle, Within Wafer NU ≤3%
문서에서 뽑은 말 PEALD · Metal ALD · 원자층증착 · 금속박막 · RF플라즈마 · 12인치 웨이퍼 · BEOL배선 · 시스템반도체
문서가 요구하는 조건
조달핏이 자격으로 판정하지는 않습니다필수 3건
- 실적최근 5년간 국내·외 기업 및 연구소에 ALD 납품 실적 5건 이상
- 기타조달청 전자입찰 참가자격 등록 및 이용자 등록 완료
- 기타규격제안서 등 입찰공고서 정한 서류 구비 및 소정 기일 내 입찰등록
단계
발주계획부터 계약까지 · 수집된 것만- 사전규격2026.09.15의견 마감 2026.09.22 · 의견 0건
- 입찰공고2026.11.04
- 입찰 마감2026.11.10
기관·구분
- 수요기관재단법인 한국나노기술원
- 공고기관재단법인 한국나노기술원
- 업무 구분물품