금속 박막 형성을 위한 플라즈마 증착 시스템 구축_첨단산업특성화대학원지원(반도체)

금속 박막 형성을 위한 플라즈마 증착 시스템 구축 사업으로, 반도체 패키징 및 금속 배선 공정에 필요한 장비를 구매하여 연구 및 개발을 지원한다. 다양한 금속 전구체와 반응가스를 활용한 박막 증착 및 공정 최적화 연구가 가능하다.

• 플라즈마 증착 시스템 구매
• 금속 박막 형성 연구
• 공정 최적화 연구
• 장비 설치 및 교육
• 납품 및 검수 완료

착수

계약체결일

종료

2026. 11. 20.

기간

null

납품기한

2026. 11. 20.

• 필수중소기업 확인서
• 필수최근 3년 유사실적 5억 이상
• 필수부도, 파산, 회생절차 진행 중이 아닌 업체
• 필수입찰참가자격 제한을 받지 않는 업체