[2차] 적층형 반도체 검사를 위한 장비 구동 및 검사 운용 시스템

적층형 반도체 검사를 위한 장비 구동 및 검사 운용 시스템을 제작 및 납품하는 사업으로, 검사 영상과 포스 측정 신호를 실시간으로 취득하고 구동 제어 결과와 연계하는 통합 시스템이 요구된다.

• 장비 구동 및 검사 운용 시스템 개발
• 정밀 구동축 및 장비 제어기 연계
• 검사 및 계측 신호 취득
• 상위 통합제어 S/W 연동
• 이상 상태 감지 및 알람 기능

착수

계약체결일

종료

2026. 10. 07.

기간

30일

납품기한

계약체결일로부터 30일 이내

• 필수중소기업 확인서
• 필수전자입찰서 제출 마감일까지 나라장터 등록
• 필수공동계약 및 재하도급 불가
• 우대최근 3년 유사실적 5억 이상