조달핏
물품R26BK01753898D-122026.10.14

산화막 식각 장비 구매

대구경북과학기술원
추정가
8.1억
배정 예산
8.9억
개찰일
2026.10.14
나라장터에서 보기
첨부파일 10건

문서 요약

첨부된 제안요청서·공고문을 읽어 정리한 내용이에요. 입찰 전 원문 확인은 필수.

과업 내용

산화막 식각 장비 구매 사업으로, 플라즈마 기반의 건식 식각 장비를 통해 산화막 및 질화막을 선택적으로 식각하는 장비를 납품받는 사업이다. 8인치 웨이퍼의 완전 자동화 공정이 가능해야 하며, 안정성과 안전성을 갖춘 장비가 요구된다.

  • 산화막 식각 장비 납품
  • 8인치 웨이퍼 자동화 공정
  • Load-lock chamber 구성
  • 공정 Chamber 구성
  • 안전 장비 설치
착수
계약일로부터
기간
5개월
참가 자격
  • 필수최근 5년 이내 반도체 기업 납품 실적
  • 필수장비 실사 참여 필수
  • 필수조달청 전자입찰 참가자격 등록
  • 필수공동수급 불허
평가 최저가 낙찰제 — 규격 심사 후 개찰 진행

공고 라이프사이클

발주계획부터 계약체결까지 한 공고의 전 과정. 다른 입찰 사이트엔 없는 통합 정보예요.

  1. STEP 01
    발주 계획
    사전 공개
  2. STEP 02
    사전 규격
    사양서 공개
  3. STEP 03
    의견 수렴
    참여 업체 의견
  4. STEP 04
    입찰 공고
    본 공고 게시
    마감 2026.10.14
  5. STEP 05
    낙찰
    개찰 / 낙찰자 결정
  6. STEP 06
    계약 체결
    최종 계약